微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種技術，其最一般的形式可以定義為使用微加工技術制造的小型化機械和機電元件（即設備和結構）。MEMS技術傳感器是低成本、高精度的慣性傳感器，可用于各種行業(yè)應用。
MEMS或微機電系統(tǒng)是一種基于芯片的技術，其中傳感器由一對電容板之間的懸浮質(zhì)量組成。當傳感器傾斜時，這種懸浮質(zhì)量會產(chǎn)生電勢的差異。然后，產(chǎn)生的差值被測量為電容的變化。
MEMS技術確實有其自身的一些優(yōu)勢。MEMS傳感器提供方便的功能，可與所有其他傳感器系列一起使用，而不受任何空間限制。此外，MEMS還利用非常緊湊的微型機器組件，這些組件非常小巧，每個MEMS傳感器都可以輕松安裝到您的手掌中。MEMS傳感器具有IP67密封。這是因為傳感器需要能夠承受-40o至+ 85oC的極端溫度。大多數(shù)使用MEMS傳感器的行業(yè)都在極端溫度下工作。而且，這種密封使傳感器能夠暫時浸入淺水中，從而可以監(jiān)控海上和海底的俯仰和滾動應用。其他電解傳感器可能具有更高的精度，但通常對溫度更敏感。
這些MEMS傳感器的另一個優(yōu)點是抗沖擊和振動。MEMS傳感器在減震環(huán)境中可能不是最持久的，但MEMS傾角計在10-1000Hz時具有10grms的抗振性，加速度計具有100G的抗沖擊性。因此，這些傳感器不能用于軍事應用等高度令人震驚的場景，但它們可以承受工業(yè)測量和控制，鉆井設備和一些巖土工程監(jiān)測。
盡管MEMS傳感技術很有用，但它們確實有一些局限性。通常，MEMS傳感器在整個溫度范圍內(nèi)具有較大的漂移。對于那些沒有溫度補償或加熱能力的人來說，這可能是值得關注的。而且，相對于其他傳統(tǒng)且更昂貴的傳感器，MEMS傳感器通常具有較低的精度。因此，您應該始終確定在購買前需要測量的確切內(nèi)容。MEMS傳感器非常適合不需要最高精度的應用，如工業(yè)自動化、平臺調(diào)控、位置控制以及俯仰和滾動測量。這就是為什么MEMS電解傳感器以低成本完美地適用于許多不同的領域。
MEMS是將微傳感器、微驅(qū)動器和微電子等技術集成到單個微芯片上，這有望成為未來最重要的無線技術突破之一。
這將通過利用微傳感器和微執(zhí)行器的感知和控制能力增強微電子的計算能力，使智能產(chǎn)品的開發(fā)成為可能。傳感器通過測量機械、熱、生物、化學、光學和磁性現(xiàn)象從環(huán)境中收集信息。然后，電子設備處理從傳感器獲得的信息，并通過一些決策能力指導執(zhí)行器通過移動、定位、調(diào)節(jié)、泵送和過濾來響應，從而控制環(huán)境以獲得某些期望的結果或目的。
此外，由于MEMS器件是使用與IC類似的批量制造技術制造的，因此可以以相對較低的成本將前所未有的功能，可靠性和復雜性放置在小型硅芯片上。MEMS技術在其預期的應用領域以及器件的設計和制造方式方面都非常多樣化和豐富。MEMS技術已經(jīng)通過實現(xiàn)完整的片上系統(tǒng)，正在徹底改變許多傳感網(wǎng)產(chǎn)品和無線數(shù)傳模塊的類別。
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